千级无尘车间在运行过程中易产生静电积累，对精元件或电子器件存在潜在损害风险，因此静电防护设施的布置尤为关键。常见布置方式包含接地系统、静电释放装置、人员防护装备和设备防静电连接。接地系统为基础设施布设内容，分为静电接地铜排和导电地坪两部分，前者连接各类设备，后者覆盖车间地面形成导电通路。

车间内需配置静电释放装置，例如离子风机或静电去除棒，通过高频电离将局部电荷中和。对进出作业人员要求佩戴防静电服、防静电鞋及腕带等防护用品，并设有静电测试仪与人体综合释放系统。生产台面材料选用防静电合成树脂，设备接地导线独立布设并与总接地系统统一连接，确保多点防护覆盖。照明灯具、电控柜等部位也需设置静电泄放接点，避免在维护操作时积聚静电。