术语：

　　在洁净厂房规划规范中GB50073-2001中给百级无尘车间的三种状况做了以下定义：

　　空态 as-built百级无尘车间测验

　　设备现已建成，全部动力接通并作业，但无出产设备、资料及人员。

　　静态 at-rest

　　设备现已建成，出产设备现已装置，并按业主及技术商同意的状况下作业，但无出产人员。

　　动态 operational

　　设备已规则的状况作业，有规则的人员在场，并在商定的状况下进行作业。

　　在ISO14644中规则将百级无尘车间查看期间区分如下：

　　空态百级无尘车间的查看——Installation qualificafion(IQ)静态百级无尘车间的查看——Operational qualificafion(OQ)动态百级无尘车间的查看——Performance qualificafion(PQ)空态百级无尘车间的查看(IQ)

　　查看空态百级无尘车间和装置的设备是不是契合规划，最少要查看下列各点：

　　1、百级无尘车间设备的成套性；

　　2、全部能源载体和技术介质的供给（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是不是契合规划；3、共用和辅佐设备功能作业是不是准确；

　　4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定（查看）日期；5、装置质量；

　　6、装置过滤器（终究过滤器）的完整性；

　　7、电源和设备是不是有备份，其间包含空气处理设备的风量余量；8、压差；

　　9、气流特性（单向气流——流速，均匀性和气流方向）；10、保护构造的密闭性；

　　11、查看循环空气与室外空气的份额是不是契合规划；12、外表洁净度；

　　13、包装中是不是有备件。

　　查看HEPA（ULPA）过滤器的完整性具有主要意义，此项查看对ISO6级、ISO5级及更高等级的净化车间来说特别必要。应查看外表洁净度及保护构造的密闭性（对ISO1级~ISO5级的百级无尘车间特别主要）。

　　静态百级无尘车间的查看(OQ)

　　本期间的查看最少应完结下列各项作业：

　　1、承认洁净区区分准则是不是契合请求；

　　2、断定百级无尘车间在通过污染水平增加后的自净时刻参数；3、断定坚持温度和相对湿度的稳定性；

　　4、按粒子数断定洁净度等级；

　　5、断定压差；

　　6、在必要的场合应按粒子和微生物污染水平断定外表的洁净度；7、断定照度；

　　8、断定噪声级；

　　9、利用必要的东西目视查看气流并查看换气次数（必要时）；10、将获得数据成果写成书面文件。

　　动态百级无尘车间的查看(PQ)

　　为了评价动态百级无尘车间作业的稳定性：

　　1、验证百级无尘车间切割准则；

　　2、评价将温度和相对湿度坚持在规则范围内的才能；3、按粒子数查看洁净度等级并断定空气中的微生物浓度（必要时）；4、验证压差；

　　5、按粒子数和微生物数量断定外表洁净度（必要时）；6、查看百级无尘车间作业文件的成套性，其间包含参数的查看办法，百级无尘车间作业事端及采取的办法等，是不是有根本的规程，如百级无尘车间打扫、更衣、人员清洁等方面的规程等；7、查看人员是不是通过培训，是不是有培训体系和相应的文件；必要时还要查看振荡强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据百级无尘车间的特色改动测验的具体内容。

　　在运用过程中，应对百级无尘车间的参数进行平时监控，监控要有必定的周期性，百级无尘车间用户可根据规范文件的请求断定这种周期性查看可在百级无尘车间作业过程中进行（重复查看）；发作下列各项后需进行重复查看：

　　1、净化车间达不到给定参数的因素已消除；

　　2、与运用条件例如百级无尘车间的运用有较大差异（如改动技术流程等）；3、空气长时刻中止流转（进风）而影响百级无尘车间作业；4、做了影响百级无尘车间作业的单个保护或修补作业，如替换HEPA过滤器以后。