榜首、换气次数

　　费用要素变量：-0.08至0.19

　　千级无尘车间内的空气分配设备（一般是吊顶过滤器）被规划成“喷淋式”，用来供给一致的、洁净的已过滤的空气。向房间补给的空气量，让人想起与普通的淋浴喷头相反的消防龙头。美国联邦规范209E、日本规范JIS B9920和ISO 规范14644-1的标题是：洁净室外和有关操控环境——榜首部分：清洗空气的分级。这些规范供给了洁净室参数、分级和检查方法的指导方针，但并未阐明怎么经济有效地到达请求。这是因为每种出产过程和洁净室外的请求是不一样的，因而，能够选用不一样的再循环空气量，到达预期的环境请求。

　　至少有五种不一样的“也许”规划能够到达预期的成果，但是只要一种规划是最好方案。为项目寻觅最好和最经济的解决方案，是洁净室外换气项目的最根本的方针理念。

　　房间内污染物的比率和实践微粒发生状况，是影响洁净室空气换气次数的主要要素。在出产过程中，不对别的要素发生任何影响的状况下，清除微粒的速度是非常重要的。别的也许影响再循环空气数量的要素是：房间的构造、设备的方位、设备外表温度、空气对流、气流类型（单向经过敏感区或许经过全空间）、操作空间和规章、运用的资料和化学药品等。

　　千级无尘车间也许需要在静态下进行判定，在工况下进行判定，对出产过程进行承认或许cGMP认证。由归纳效劳办理部制定的联邦规范209（e），主张100或90fpm。但是有也许树立一个空气活动速度较低，但比100级洁净度更高的洁净室。实践上，现已有洁净室的空气活动速度是45cfm/平方英尺。

　　第二、单向的、紊流的、笔直或水平气流

　　费用要素变量：-0.073至0.18

　　在很多案例中，单向气流只在小空间和净化车间的敏感区域内运用，而且运用微环境。污染物的源头也许存在于手套箱、过滤模块等当地。多数规划为全体单向气流洁净室外的方案，只要在这些区域中没有操作者、出产设备和排风设备时才干完成单向气流。笔直或水平气流的挑选，取决于房间的构造和设备的安放方位，紊流就能够将污染物带走。

　　洁净室内的架空地板是用来掩盖东西、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来，为了节省本钱，在“bay-and-chase”式的洁净室构造中，这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。在彻底单向气流的洁净室内，大家期望微粒从作业区域流到带小孔的地板下。咱们现已成功的树立了10级和100级的洁净室，在这些洁净室内没有架空地板，选用墙下部回风体系，而且洁净室的气流被规划成紊流。另个一种方法是用薄的空气喷射设备阻隔超清洗区域，这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺。它的功用类似于塑料门帘。

　　第三、空气过滤体系

　　费用要素变量：-0.032至0.10

　　选用未端HEPA过滤器对空气进行过滤，0.3到0.5微米的去掉功率为99.99%,0.12微米的去掉功率为99.999%;若运用ULPA过滤器，0.12微米的去掉功率为99.99995%。

　　依据洁净室外的用处，也能够挑选别的的设备，例如，在循环风加新风处理体系中，运用HEPA过滤器用碳吸附或类似功用的构成过滤器处理VOC，静电过滤箱，等等。

　　在千级无尘车间市场上，风机过滤不再是新产品，正确的应用它能够为很多高水平洁净室供给杰出的、经济的解决方案，尤其是在吊顶高度有限的建筑内。已证实下降本钱和减小过滤器的压降（在洁净室寿数期内，运用低等级过滤器，长期选用高压降方法运转，所带来的效益并不老是非常显着）。

　　第四、空气处理器

　　费用要素变量：-0.07至0.15

　　新风处理空调箱[Make-up AHU s]。典型的新风处理空调箱（初级AHU s）为循环风空调箱（二级AHU s）供给必需的新风。新风由离心排风机、轴流或plug风机加上过滤器、预热和再热用热水盘管、冷却和除湿运用的冷冻水盘管、蒸汽和绝热加湿器等构成。附件和区别包含静电空气混合器、蒸汽预热盘管、超声波加湿器、盐水、除湿用的直接交流[Dx]或乙二醇低温冷冻盘管、VOC吸附过滤器、噪声衰减器，VFP（变频）驱动等。

　　新风处理空调箱通道是将空气写入集管，再经过支管体系给循环风空调箱供给新风。在初级和二级风管上进行空气测量，并调节送风机、VFD或进口风阀以便稳定风量。Magnahelic讲量器临测设备在各个空调箱内HEPA过滤器布袋过滤器和预过滤器的荷载。有吊顶风机过滤器的状况下，新风处理空调箱出来的空气进入循环风空调箱再送出。

　　循环风空调箱（Recirculation AHU s）。典型的循环风空调箱由高效离心式风机、过滤器和湿热（干）冷盘管构成。附加和区别包含用于部分温度操控的再热盘管、用于部分湿度操控的蒸汽或超声波加湿器、风量稳定操控箱。这种选用Whisper-Air and Compac Space 风机体系的方法供给了一种节省本钱和充沛运用动力的挑选。

　　多重循环风空调箱经过送风管，再经过ULPA过滤器或HEPA过滤器，将空气送入洁净室，在洁净度等级为10级和1级的洁净间的吊顶上，这些过滤器一般是100%覆盖。笔直单向气流向下经过洁净间，穿过带孔的架空地板砖进入地板下面的回风空间，再经过笔直回风夹道向上进入吊顶回风静压箱。然后 ，空气再次进入循环风空调箱，以上的空气循环再次重复。假如是运用吊顶风机过滤器，在风机过滤器上面的吊顶空间时，能够设备水或直接交流冷却[DX-cooled]风机盘管完成外表冷却。

　　第五、空气压差

　　费用要素变量：-0.041至0.08

　　洁净室增压是有必要的，它的作用是保证洁净室远离其接近区域的污染，操控有害污染物的流向，防止不一样区域间的穿插污染，并协助坚持所请求的温度和湿度水平。

　　洁净室与有关走廊、设备内的别的区域的压差应坚持在0.25到0.005英寸水柱（in.w.g.）之间。一般制药公司所请求的压差值比这更高，在不一样区域之间选用层叠压差来防止穿插污染。在不一样的区域间设备一系列的层叠式气闸和答应空气快速分散的正压门，然后发生压差。好的微电子洁净室规划中，一般在洁净室的进口设备一个半密封的气闸来使压差坚持在0.02到0。005in.w.g.之间。更衣间和穿衣间用气闸分离。进口入的机械风淋相关于它的必要性而言，更是设备文明和洁净室的原则问题。

　　很多微电子和光刻洁净室成功地选用被迫气压操控，只要在大门悉数翻开的状况下，进口处的风量坚持在每分钟50到100英尺。一些生物制药公司请求主动压差操控，选用弥补新风的方法，主动补足经过门走漏的空气（当门翻开时）。

　　第六、温度操控

　　费用要素变量：-0.0321至 0.15

　　温度和湿度的改变能够引起出产设备的差错，然后影响出产过程的可重复性，终究致使产品合格率下降、添加糟蹋。因而，洁净室对温度严格操控请求是显而易见的，这项费用是有必要的。

　　一般状况下，请求工程师在规划时下降施工费用，一起请求在很大区域内对温度进行准确的操控，答应的温度改变规模在±4到6华氏度之间（例如运用卷帘门的仓库）。在没有硬墙和气闸设备时，这将是非常严苛的请求，而且实践上无法操控湿度的改变。大家一般以为洁净室外的洁净度、温度、湿度和气压等项目的层叠性是非常容易到达的，而且很容易坚持，但需要细心的评价这些项目的差错规模。

　　假如对洁净室内的暖通、动力专业设备和操控体系有严格请求，例如洁净室的温度操控请求为正负0.1华氏度所用花费，也许比基准点为70华氏度，±2.0度（即规范请求68到72华氏度）的高出20%到50%。

　　在每个洁净室区域内，有部分主动调温器来操控规划温度。它能驱动设备在风管上的部分再热或再冷盘管作业，来满意房间内的湿热的请求。假如运用风机盘管设备，部分主动调温器操控本区域内盘管出口空气的温度。

　　第七、温度操控

　　费用要素变量：-0.034至0.19

　　每个千级无尘车间内的相对湿度，经过部分湿度调节器来进行操控。假如窨内的相对湿度较高，恒湿器经过下降冷冻盘管流出空气的温度来加强除湿。一起，再热盘管供给热量来坚持窨的温度。任何一个洁净间的相对湿度超出了规划规模，部分恒湿器将发动设备在风管上的部分湿度调节器。当有必要满意准确的湿度操控时，一般运用空调箱中的新风的绝热增湿作用来完成，并经过洁净室的结露点来坚持。

　　湿度水平的部分变化能够经过超声波湿度调节器进行操控，该调节器坐落终究过滤前的风管静压箱内。用水水质为RO/DI，水电阴率在3到5mgm之间。假如相对湿度低于规划规模，恒湿器将发动湿度调节器来添加新风的水分含量。假如相对湿度较高，恒湿器将下降新风操控冷冻盘管流出空气的露点温度，然后加强除湿作用。

　　第八、排风体系

　　费用要素变量：-0.031至0.16

　　典型的技术排风体系包含：酸、溶剂和VOC、毒性物质、热和一般的房间排风。假如废气中有氨气呈现，一些厂家会挑选运用分隔的风管体系和处理体系。运用最多、最遍及的酸消除方法，是水平或笔直气体洗刷塔。溶剂和VOC的去掉一般运用就地或当场高温破坏的方法。需要仔细挑选支队的方法及有必要支队的废气流量。

　　优异的空气处理设备能够将废气量降至最低，因而，在施行过程中可下降工程费用和动力糟蹋。坚持排风量添加的潜在需要、扩大出产和设备这些备用品所需的经济价值之间的平衡是非常重要的。一般状况下，思考到洁净室将来的拓展，当其它动力设备和暖通、动力专业体系（例如新风和冷却）不能满意这种扩充的需要时，超大的贵重的、不锈钢面料的或FRP排风体系就现已树立了。没有思考将来的

　　需要而树立的酸排队体系也是非常遍及的。添加风量和新的风管支管，，就会使风管体系中的风速超越每分钟4000英尺。这么的体系坚持平衡是非常困难的或不也许的，而且运转的费用贵重。

　　第九、振荡和噪声操控

　　费用要素变量：-0.027至0.10

　　设备的巨细和分量影响振荡的传达及操控。洁净室地板下面的“华夫（waffle）”混凝土板层，能够极好地防止将设备的振荡传送到别的出产区域或度量衡东西上。即便为了设备管道而在洁净室的地面上钻洞，Waffle混凝土板层仍能坚持其风性。因为地板的强度在于它的栅格体系，并可进行重新整理。因而可在地板上冲压额定的孔洞，而不会对振荡要素有任何副作用。

　　一切的暖通、动力专业设备应运用绷簧、软件接和阻隔设备等隔绝振荡的方法，将振荡效应降到最低。低噪音的节能风机和马达，能够用来坚持洁净室NC水平。振荡和噪声方面的专家应是评价小组的成员，他们来领袖用于振荡和噪声方面的专家应是评价小组的成员，他们来核实用于振荡和噪声操控中的机械和建筑学原理。完工后的再处理也许是非常贵重的。假如建筑师、暖通、动力专业工程师、业主和参谋从规划的开端就思考这些要素，能够免除很多潜在的贵重的检查，或用更经济的方法代替。

　　第十、磁通量和电磁通量

　　费用要素变量：0.037至0.15

　　磁通量被以为是银河系中海洋微粒布景的流量。银河系的放置也被以为是自然界的电磁循环。“通量”这个词代表流量，咱们能够以为磁力线就象某种液体活动的道路那样穿过一个设想的外表。磁场的巨细代表活动的速度，它的方向即是活动的方向。磁通量即是流过这个外表的一切的容量。为了更好地理解，咱们能够以为磁通量即是穿过这个外表的磁力线的数量。

　　关于给定的速度，当微粒移动的方向笔直于磁场方向时，磁力是最大的，当与磁场方向对等运动时，磁场力为零。

　　在大多数根本水平，移动电荷之间的相互作用发生磁力，就象静电发生于导电电荷与别的导电电荷（不管他们是不是运动）之间的相互作用。

　　经过对行星的摄影研讨标明，因为地球的放置和它熔化的金属内核使得它有一个强壮的磁场。磁通量的密度（代替“牛顿的每安培米”）有它自己的单位---特斯拉。地球外表的磁场近似代表值是二分之一高斯，大约是200,000特斯拉。在对大众开放的区域内，工作安全和健康请求磁场强度不能大于5个高斯。

　　洁净室的磁场防护是非常贵重的。例如，千级无尘车间运用4到5毫米厚的磁性（铁--硅）钢板（M15型）作为屏蔽资料仍不能满意请求。当时的半导体、度量衡和通讯实验室区域内请求磁通量的强度限制在0.05高斯或更低。